Regulátory tlaku a vakua řady PC 100, SLA 5810/20, 5866RT

  • Elektronické regulátory plynu, které dovedou regulovat tlak plynu na vstupu nebo výstupu zařízení.
  • Regulátory Brooks využívají jádro technologie hmotnostních termálních průtokoměrů, které jsou nyní lídrem na trhu. Brooks nahrazuje tepelně hmotnostní senzor průtoku za tlakový sensor. Reguluje tlak media na základě nastavené hodnoty set point signálu. Používá regulace s uzavřenou smyčkou, pokles tlaku nebo hystereze není způsobena tradiční mechanickou membránou regulátoru tlaku. Regulátor Tlaku Brooks je dostupný s vestavným tlakovým senzorem pro regulaci tlaku v rozsahu vakua až 4500psia (310bar a).
  • Regulátory tlaku mohou být konfigurovány s použitím externího tlak. senzoru pro větší flexibilitu. Při použití tohoto externího senzoru požadovaný průtok plynu při udržovaném tlaku může být regulován i měřen.

5866
  • Oddělený převodník / Regulátor tlaku a průtoku SLA 5866RT– s elastomerovým těsněním, měřící rozsah průtoku: 3 sccm-30splm, přesnost:1% FS, maximální tlak: 100 bar g, vstup/výstup signál: : 0-5Vdc , napájení: +/- 15 Vdc
  • Katalogový list - pdfDS PR 5866 RT

 

 


5820
  • Regulátor tlaku PC 100 - pro polovodičová odvětví a MOCVD technologie, materiál smáčených části Hastelloy C-22, měřící rozsah průtoku: 0-20 sccm N2 ,H2 nebo 0-5 slm N2, H2, přesnost: 1% FS, pracovní teplota: 10 až 50 °C, rozsah převodníku tlaku: 1000 Torr F.S., digitální komunikace DeviceNet, napájení: DeviceNet: 545 mA max. @ +11-25 Vdc
  • Katalogový list - pdfPressure controller PC 100

5820
  • Tlakové regulátory SLA 5810/20, SLAMF 10, SLAMF20 - Elastomerové těsnění, měřící rozsah: 0-310 bar a, přesnost: +-0,25% FS, max. tlak: 310 bar a, vstup/výstup signál: : 0(1)-5Vdc , 0(1)-10Vdc , 0- (4)-20mA, ,RS485, Profibus, Foundation Fieldbus, napájení: 11- 27 Vdc
  • Katalogový list - pdfPressure controller SLA5810 SLA5820

 

 


7840
  • Oddělený převodník / Regulátor tlaku a průtoku SLA 7840 - s kovovým těsněním, měřící rozsah průtoku : 3 sccm-30splm , přesnost: 1% z rozsahu, maximální tlak: 100 bar g, vstup/výstup signál: 0-5Vdc ,DeviceNet, napájení: 11- 25 Vdc
  • Katalogový list - pdfDS PR SLA7800

 

 


5840
  • Oddělený převodník / Regulátor tlaku a průtoku SLA 5840 - s elastomerovým těsněním, měřící rozsah průtoku : 3 sccm-50splm , přesnost:0,9% z rozsahu, maximální tlak: 310 bar g, , vstup/výstup signál: : 0(1)-5Vdc , 0(1)-10Vdc , 0- (4)-20mA, ,RS485, Profibus, napájení: 11- 27 Vdc
  • Katalogový list - pdfPressure controller SLA5840

pemit cz midddle