Hmotnostní termální průtokoměry

Více účelové hmotnostní regulátory a průtokoměry řady SLA 5800S, SLA MfS, MF 64S

5800
  • Elastomer Seal Controller/ Meter- SLA 5800S
  • rozsah měření 3sccm - 2500slpm, maximální tlak 310 bar g, přesnost: 0,9% rozsahu, napájení: 11-27 Vdc (viz. katalog. list)
  • I/O vstup/výstup: 0(1)-5 Vdc,(0-10 Vdc), 4-20mA (m 0-20mA), Profibus, RS 485, DeviceNet, Foundation Fieldbus
  • Katalogové listy - pdfDS TMF SLA5800 Series RevB MFC  pdfDS TMF SLA5800 MFC

  • SLA řada hmotnostní průtokoměr a regulátor - je přední inteligentní digitální hmotnostní regulátor firmy Brooks.
  • Tato řada nabízí připojení digitálních protokolů a servisní připojení na zařízení pomocí SW
  • SLA nabízí rovněž vylepšení funkcí jako je dlouhodobá stabilita, rychlá odezva atd.
  • Řada SLA Mf hmotnostních průtokoměrů je konstruována speciálně pro náročná prostředí.
  • Jedinečný přístroj NEMA 4X/IP 66 zajišťuje ochranu proti vodě a prachu a je ideální pro vnitřní i venkovní použití.
  • Integrovaný senzor, ventil a PID regulátor dává cenově efektivní řešení i pro instalace do prostředí s nebezpečím výbuchu.
  • Rychlejší odezva, lepší přesnost a vylepšená řídící schopnost analogového zařízení
  • Špičková opakovatelnost zajišťuje stabilní proces při měnících se vstupních podmínkách
  • Eliminace alarmů a vlastní diagnostika
  • Více komunikačních protokolů umožňuje snadnou integraci do mnoha řídících systémů
  • Analogové I/O- vstupy/ výstupy umožňují rychlou a snadnou systémovou integraci
  • Varianta elastomerového těsnění sedla zajišťuje maximální těsnost a spolehlivost integrovaného uzavíracího ventilu
  • schváleno v servisní oblasti

SLAMf
  • NEMA 4X/IP66 Elastomer Seal Controller/ Meter - SLA MF S
  • rozsah měření 3sccm - 2500slpm, maximální tlak do 310 barů g, přesnost: 0,9% rozsahu, napájení: 11-27 Vdc (viz. katalog. list)
  • I/O vstup/výstup: 0(1)-5 Vdc,(0-10 Vdc), 4-20mA (m 0-20mA), Profibus, RS 485, DeviceNet, Foundation Fieldbus
  • Katalogové listy - pdfDS TMF SLAMf Series RevB MFC  pdfDS TMF SLAMf MFC

5850i
  • 5850E, 5850i, 5850EM  hmotnostní regulátory těchto řad jsou určeny pro ty, kdo nevyžadují super vysoký výkon a přesnost digitálního regulátoru.
  • Brooks nabízí tyto spolehlivé analogové regulátory hmotnostního průtoku v základní řadě s dobrou přesností, standardní časovou odezvou a jednoduchou integrací.
  • Měřící rozsahy obou typů jsou 3 sccm až 1000 slpm, maximální tlak do 100 barů g
  • přesnost měření: 1% z rozsahu, napájení pro 5850i :15-24 Vdc, pro 5850E : +/- 15Vdc, I/O vstup/výstup: 0-5 Vdc, 4-20mA
  • doba ustálení signalizace průtoku: < 0.3 sec, regulace průtoku: přestavná doba < 0.75 sec z 0 to 100% rozsahu, maximální dovolený tlak: 10 barů g, napájení: 15 až 24 V dc
  • I/O vstup/výstup: 0-5 Vdc, 4-20mA, RS 232
  • Katalogové listy
    pdfDS TMF 5850e MFC –  pdfDS TMF 5850i MFC – pdfMF controller 5850EM-5851EM – pdfMF controller 5850EMH

5700
  • Elektronický průtokoměr 5700 Series
  • Katalogový list - pdf5700 Series
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  

9861
  • Vysokoteplotní termální průtokoměr 9861 Series
  • Katalogový list - pdf9861 Series
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  

4800
  • 4800 hmotnostní regulátor a průtokoměr je určen pro měření s velice rychlou dobou ustálení.
  • Měřená média: air, N2, O2, Ar, He, H2, CO2, CO, N2O, CH4, C3H6, and C3H8.
  • Měřící rozsah přístroje je 50 mln/min až 40 ln/min/ (50 sccm - 40 slpm), odpovídá rozsahu regulace 2-100%
  • přesnost měření: +/- 3.0% z rozsahu, +/- 1.0% FS, opakovatelnost: +/- 0.15% z rozsahu
  • doba ustálení signalizace průtoku: < 0.3 sec, regulace průtoku: přestavná doba < 0.75 sec z 0 to 100% rozsahu, maximální dovolený tlak: 10 barů g, napájení: 15 až 24 V dc
  • I/O vstup/výstup: 0-5 Vdc, 4-20mA, RS 232
  • Katalogový list -  pdfDS TMF 4800 MFC

48 80
  • GF 40/80 Sériová řada pro měření a regulaci hmotnostních průtoků je určena pro solární technologie- povlakování tenkých vrstev, CVD, vakuové procesy, bioreaktory a další.
  • Rovněž lze použít pro plynové průmyslové aplikace, které vyžadují efektivní řešení.
  • Velkou předností je vyšší rozsah přístroje pro aplikace do 300 slpm s kompaktním půdorysným designem, s dobou ustálení do 1 sec., s multifunkční konfigurací plynů a jejich rozsahů a s korozivzdorným trubičkovým senzorem z materiálu Hastelloy.
  • Měřící rozsah: 3 sccm až 300slpm, přesnost měření: +-1% z rozsahu, maximální dovolený tlak: 10 bar g, napájení: 11 až 27V dc ( viz. katalogový list)
  • I/O vstup/výstup: 0-5 Vdc,(0-10 Vdc), 4-20mA (m 0-20mA), Profibus, RS 485, DeviceNet
  • doba ustálení signalizace průtoku: < 0.3 sec, regulace průtoku: přestavná doba < 0.75 sec z 0 to 100% rozsahu, maximální dovolený tlak: 10 barů g, napájení: 15 až 24 V dc
  • EtherCAT
  • Katalogové listy –  pdfDS TMF GF40 MFC –  pdfDS TMF GF80-GF81 MFC

100
  • GF 100 jsou navrženy pro polovodičová odvětví, MOCVD technologie - pro výzkum, vývoj a výrobu sloučenin polovodičů a další aplikace regulace plynu, které vyžadují vysokou čistotu.
  • Provedení přístrojů je celokovové včetně těsnících částí. Řada GF přináší vynikající výkon, spolehlivost, flexibilitu.
  • Byla testována na více než trojnásobek standardní spolehlivosti v polovodičovém průmyslu, opakovaně při nízké nestabilitě v časové úseku.
  • vysoce rychlé nastavení 300 milsec.
  • vysoká přesnost +-1% (35-100% FS),
  • nový vysoce rozsahový typ přístroje až do 300 slpm N2 ekviv.
  • aplikace regulace průtoku čistých plynů
  • multifunkční konfigurace plynů a jejich rozsahů
  • korozivzdorný trubičkový senzor a clona ventilu z materiálu Hastelloy.
  • napájení: +-15V dc, +-24V dc, 11-25 Vdc, I/O vstup /výstup: 0-5V dc/RS 485/ DeviceNet
  • Data sheets –  pdfDS TMF GF100 Series MFC –  pdfDS TMF GF121 Series MFC – pdfGF100 Series EtherCAT Flyer 

135
  • GF 135 Rozšířená diagnostika hmotnostního průtokoměru - PTI Metal Seal Controller
  • Navržen jako další krok v polovodičových technologiích tenkých vrstev a aplikacích regulace plynů.
  • G 135 kombinuje všechny výhody poskytované hmotnostním průtokoměrem přechodně necitlivým na změnu tlaku (min.D P) s detekcí chyby reálného průtoku v časovém úseku a jeho diagnostikou.
  • Určeno pro: N2, O2, Ar, H2, SF6, NH3, CO2, Cl2, HBr, NF3, CF4, CH4, CH3F, CH2F2, SiCl4 (@ 100 Torr),C4F6-q (@ 800 Torr), C4F8 (@ 1200 Torr), N2O, CHF3, SiH2Cl2, C5F8, He
  • vysoká přesnost +-1% (35-100% FS)
  • Rozsah přístroje: 3 sccm až 5 slpm N2 ekviv., maximální tlak: 6 bar g
  • Přesnost: +- 1%S.P.(10-100% FS), napájení: +-15V dc, +-24V dc, 11-25 Vdc,I/O vstup /výstup: 0-5V dc/RS 485/ DeviceNet
  • Katalogový list -  pdfDS TMF GF135 MFC

pemit cz midddle