TOTÁLNÍ NOVINKA - B SERIES

Data Sheet B-Series

- hmotnostní průtokové regulátory nezávislé na kolísání tlaku a teploty

 Úvod

Průtokové regulátory Brooks řady B-Series vytyčily nový standard v regulaci průtoku plynů. Ať už potřebujete regulovat přívod plynu do CVD komory, do chemického reaktoru, do testeru palivových článků nebo v jiné důležité aplikaci, konečná kvalita Vaší práce bude vždy záviset na výkonových parametrech Vašeho průtokového regulátoru. Regulátory Brooks řady B-Series se vyznačují výjimečnou stabilitou regulace a nezávislostí na kolísání tlaku a teploty plynu a jsou plně kompatibilní s RoHS. Jedinečné špičkové diagnostické funkce umožňují kontrolu činnosti regulátoru i během provozu. Díky vestavěnému displeji a uživatelsky příjemnému ovládání je nastavení i změna parametrů regulátoru velmi jednoduchá a zároveň rychlá. Instalace regulátorů řady B-Series vede ke snížení počtu samostatných tlakových regulátorů, tlakových převodníků a souvisejícího instalačního materiálu a tím i ke snížení celkových nákladů na řízení plynového hospodářství.

Popis přístroje

Průtokový regulátor řady B-Series představuje kompaktní a cenově výhodné systémové řešení regulace průtoku, které se obejde bez drahých zařízení pro měření a regulaci tlaku a teploty. Regulátor je vybaven displejem a silným uživatelským rozhraním. Instalován je na podstavci o šířce 1.125 palců. Sofistikované autodiagnostické funkce umožňují průběžnou kontrolu činnosti regulátoru včetně záznamu o technickém stavu zařízení. Přídavný servisní port poskytuje rozšířené diagnostické možnosti, díky kterým se nutnost demontáže regulátoru během jeho provozu snižuje na minimum.

Stabilní regulace nezávislá na kolísání tlaku

Regulátor řady B-Series průběžně měří tlak plynu v potrubí a podle naměřené hodnoty nastavuje řídící ventil tak, aby se průtok plynu neustále udržoval na požadované hodnotě.

Stabilní regulace nezávislá na kolísání teploty

Regulátor řady B-Series udržuje průtok plynu na požadované hodnotě v celém rozsahu provozních teplot.

Extrémně rychlá odezva

Regulátor řady B-Series v sobě spojuje vynikající vlastnosti tepelného snímače hmotnostního průtoku s jedinečným koplanárním ventilem a originálním řídícím algoritmem. Výsledkem je extrémně rychlá odezva regulátoru.

Pohodlný servisní port

Na horní straně přístroje je pod sundávacím krytem umístěn servisní port, který se používá pro připojení diagnostických zařízení.

Pokročilá diagnostika

Regulátory řady B-Series disponují širokou škálou alarmů
a diagnostických funkcí včetně patentované metody měření průtoku plynu ventilem po nastavení nulové hodnoty (leak-by) a exkluzivní diagnostiky pro zjišťování posunu nuly. Kombinace těchto funkcí poskytuje uživateli možnost kontrolovat provozní parametry regulátoru i během jeho provozu.

Uživatelský interface

Regulátor je vybaven LCD displejem, na kterém se zobrazuje hodnota aktuálního průtoku, teploty, tlaku a provozní stav alarmů. Regulátor se ovládá pomocí tlačítek, kterými se řídí pohyb v menu, nastavení jednotek měření a vynulování přístroje. Z důvodu snadné přístupnosti jsou na horní straně přístroje umístěny také přepínač pro nastavení DeviceNet MAC a přepínače pro nastavení přenosové rychlosti.

Multifunkčnost

Do paměti regulátoru řady B-Series lze uložit až devět sad měřících parametrů. Každá měřící sada obsahuje kalibrační křivku, nastavení PID regulátoru, výkonové parametry ventilu a údaje o podmínkách kalibrace. Kalibraci lze provést pro různé plyny nebo pro stejný plyn za různých kalibračních podmínek (tlak, maximální průtok).

Kompatibilita s RoHS

Regulátor je plně kompatibilní s RoHS podle směrnice EU 2002/95

Jedinečné konstrukční řešení ventilu

Všechny regulátory řady B-Series jsou vybaveny koplanárním ventilem Brooks. Tento ventil se vyznačuje vysokým poměrem q_max/q_min, extrémně rychlou odezvou, vynikající stabilitou nastavení a minimální hodnotou leak-by (t.j. množství plynu, které ventilem proteče v důsledku vzniku rozdílového tlaku po nastavení nulového průtoku. Plyn přestane řídícím ventilem protékat po vyrovnání obou tlaků.)

Adaptabilní mechanická konfigurace

Standardně jsou regulátory řady B-Series instalovány na podstavci o šířce 1.125 palců, ale lze je snadno přeinstalovat do existujících skříněk s tradičním rozměrem 1.5 palců.

Přesnost

Všechny hmotnostní regulátory Brooks jsou kalibrovány podle mezinárodně uznávaných standardů (NIST). Zdokonalené kalibrační metody a použití nejnovějšího softwaru zaručují vynikající přesnost a opakovatelnost měření.

Třívodičový odporový snímač

Termický princip měření průtoku spočívá v měření teplotního rozdílu na konci a na začátku měřící kapiláry, kterou proudí měřený plyn a která je zahřívána topným článkem. Brooks využívá třívodičové odporové snímače teploty (dva vodiče nezahřívané a jeden zahřívaný), zatímco teplotní snímače většiny ostatních výrobců jsou dvouvodičové (oba vodiče zahřívané). Třívodičový snímač Brooks dramaticky snižuje pravděpodobnost poklesu přesnosti,  neboť

• nezahřívané vodiče se vyznačují relativně malou změnou odporu
• u dvouvodičových snímačů jsou vodiče ochlazovány a zahřívány, což může vést ke vzniku mezery mezi vodičem a měřící kapilárou.

Aplikace

Tenké vrstvy v polovodičových a solárních technologiích

Regulátory řady B-Series najdou uplatnění v náročných aplikacích výroby polovodičových prvků a solárních článků včetně CVD technologií, leptání a difúze. Použití regulátoru řady B-Series umožňuje snížit celkový počet tlakových regulátorů a tlakových snímačů v řídícím systému. Díky tomu klesá cena i rozměry řídícího panelu při zlepšení výkonu a prodloužení doby bezporuchového chodu.

Alternativní zdroje energie - palivové články

Tester palivových článků se používá k simulaci různých provozních podmínek při měření účinnosti palivových článků. Validita výsledků testů je maximálně závislá na přesnosti, rychlosti odezvy a stabilitě použitých průtokových regulátorů. Průtokový regulátor Brooks řady B-Series, který je nezávislý na kolísání tlaku a teploty, představuje ideální řešení pro tyto náročné aplikace, neboť jeho rychlost odezvy dosahuje až 500 milisekund a navíc je imunní vůči tlakovým špičkám a kolísání teploty.

Biotechnologie

Nejnovější aplikace v biotechnologii vyžadují přesné řízení průtoku nezávisle na kolísání vstupního tlaku použitých plynů. Průtokový regulátor Brooks řady B-Series nezávislý na kolísání tlaku a teploty řeší řízení vícesložkových systémů bez snížení přesnosti, rychlosti odezvy a stability regulace.

Specifikace

Výkonové parametry

Provozní podmínky

Konstrukční parametry

Elektrické parametry

Rozměry

Kódové označení přístroje

Příklad kódového označení

Servisní podpora Brooks

Měřící systémy Brooks představují ideální řešení pro měření a regulaci průtoku a tlaku. U všech výrobků je zajištěna vynikající servisní podpora. Naše servisní pracoviště, která naleznete ve všech koutech světa, se vyznačují pohotovým servisem a vstřícným přístupem k řešení problémů našich zákazníků. Vysoká přesnost a spolehlivost při provádění oprav a překalibrování je zajištěna využíváním standardizovaných kalibračních zařízení. Kalibrační zařízení pro kalibraci průtokoměrů jsou certifikována naším Úřadem pro míry a váhy a vyhovují odpovídajícím mezinárodním standardům.

INSTALACE, SPUŠTĚNÍ A KALIBRACE NA MÍSTĚ

Podle požadavků zákazníka zajišťuje Brooks Instrument počáteční kalibraci přístroje v provozních podmínkách ještě před uvedením přístroje do provozu v provedení splňující odpovídající mezinárodní standardy.

UŽIVATELSKÁ ŠKOLENÍ A SEMINÁŘE

Brooks Instrument nabízí školení a semináře určené pro vyškolení technických pracovníků, obsluhy a pracovníků údržby. Více informací Vám poskytne náš regionální zástupce.

Katalogový list v PDF -